晶圆级封装植球装备是好的IC封装的关键设备之封装工艺和关键技术的研究对于设备的研制十分有必要。大行程、高精度植球平台是基础工作单元,完成晶圆的传送和定位,金属模板印刷和植球工艺衢要长期的技术积累。通过自主研发的半自动晶圆级微球植球机WMB-1100实验,取得了良好的植球效果。晶圆级微球植球技术及装备的研制可以提高我国在好的IC封装领域的竞争力。我司设备利用独自开发取得的毛刷,可以高效植球的同时,能延缓锡球的氧化,不会造成锡球的浪费。晶圆植球机植入的锡球大小从50微米到300微米左右。衢州工业植球机
晶圆植球机可以对应硅晶圆,模块晶圆的微锡球植球。晶圆植球机是采用了为搭载微球而开发的金属杯方式。通过球的回收功能,实现了废球量的大幅度减少。目前主流以8寸,12寸晶圆为主,每片晶圆上有分布上千个芯片。晶圆植球机实现独特的高精度定位球。晶圆植球机是通过高精度的图像定位机构和晶片厚度检测功能,实现稳定的球搭载。同时在晶圆上植入锡球,以及检查及修补,达到将近100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。 晶圆植球机切换到正片,每台大圆,每台大圆。晶圆植球机口罩上没有多余的球,减少了废球的产生。衢州工业植球机晶圆植球机植球精度大概为0.015mm。
晶圆植球机重复精度:±12μM;植球精度:±15μM;循环时间:<30S(不包括芯片装模板时间)。晶圆在前道刻好回路后,需要在各个芯片凸点上布上锡球,以达成电路的一个连通。目前主流以8寸,12寸晶圆为主,每片晶圆上有分布上千个芯片,每片芯片的凸点从几百到几千不等,需要在凸点上植入的锡球大小从50微米到300微米左右。我司的设备可以在1分钟左右内,同时在晶圆上植入锡球,以及检查及修补,较终达到100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。设备利用独自开发取得的毛刷,可以高效植球的同时,能延缓锡球的氧化,不造成锡球的浪费。
晶圆植球设备采用了金属模板印刷法进行植球。植球过程中,残留在网板上的助焊剂和锡焊球不及时清理,不但会影响晶圆定位和印刷植球效果还会损伤网板和晶圆。根据印刷网板和植球网板的清洁要求,分别采用了无尘布擦拭和真空吸附的清洁方法。设计了印刷网板自动清洁机构并分析了其工作流程,设计了植球网板自动清洁机构并对其关键技术进行研究。自动清洁机构的设计进一步提高了晶圆植球设备的自动化水平,为实现全自动晶圆植球设备打下基础。晶圆植球机易操作维护。
BGA植球机概述:可实现批量BGA芯片植球加工,速度是手工植球的数倍。使用0.3MM--1MM锡球均可实现批量上球生产。 同一底模一次同时可植锡多个芯片4-300PCS。扫球机采用倾斜式设计,斜式角度可调,让多余锡球可自流掉落。刮锡机采用螺杆导轨电机刮锡,运行精确,速度可调。下球底模与钢网间隙通过千分尺调节,精度可达0.002MM。 更换芯片不同规格只需要更换底模板和钢网, 操作简单。钢网对位只需四根定位针,插孔对位,操作简单,无需复杂调节。采用简单,低功耗真空吸气式固定芯片,重量轻、无噪音,不损伤芯片。配备特制弹力防损芯片刮刀, 适合各种芯片进行加工。植球检查修补一体机不但提高了生产效率,而且操作简便,易学易懂。江苏常见晶圆植球设备制造
晶圆植球机能够实现稳定的球搭载。衢州工业植球机
全自动BGA植球机,特长:采用铺球板式供球方法,可对应小达0.15mm的球,一次植球量可以达到8万颗。 植球良率可以达到99.95% 。可一次对应160*310mm区域植球 。功能 ,用于基板或单颗芯片的全自动植球。 自动上料,自动定位,pin方式点胶,真空吸附方式植球,视觉检查植球缺陷,后对接回流炉。 规格 ,对应球:≥0.15mm,对应产品:基板和单颗产品 ,定位精度:±10微米 ,植球良率:99.95% ,速度:15s/1time,机器尺寸:3840W x 1250D x 1750H [mm]。该设备的研发成功不但极大提高了产品品质及生产效率,而且设备性能优势得到许多同行的高度认可。衢州工业植球机
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